又名無塵室丶潔凈室。無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
GBJ73-84規定的潔凈度等級
等級 每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數 每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數
100 《35*100（〈3.5〉
1000 《35*1000（〈35〉 《250（〈0.25〉
10000 《35*10000（〈350〉 《2500（〈2.5〉
100000 《35*100000（〈3500〉 《25000（〈25〉
清潔要求
�。�1）、清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；
�。�2）、用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；
�。�3）、使用已獲批準的潔凈室專用去污劑；
（4）、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。
�。�5）、每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。
（6）、清潔潔凈室的地面應使用專用拖把。
�。�7）、在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。
�。�8）、所有的門都需要檢查并擦干
�。�9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
�。�10）、架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)、三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
�。�12）、工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門遠的地方向門的方向擦。
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